对应LED量产专用的干法刻蚀设备｢NE-950EX｣相对我司以往设备完成了140%的生产力。
SMD 系列是镀金属膜、ITO、IGZO、诱电体膜等的枚叶式溅射镀膜设备。
从要害的新代代晶圆制程到晶圆级封装，Luminous NA系列可对应广规模的各类晶圆尺度的各类工艺需求。
搭载了高温ESC（静电吸附卡盘）的面向SiC量产用的高能粒子注入设备。
CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚叶式CVD设备。
·半导体工艺(FEOL/BEOL)·半导体工艺(非挥发性存储器)·LED器材·功率器材·封装·MEMS·光学膜·磁器材·二次电池·LCD·OLED·触摸屏·显现器用研讨开发设备·太阳能电池· 磁铁·汽车部件·配线资料·电容器·包装资料·装修·医药·食物·健康·电子资料·功能性资料·航空器·输电机器·家电
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