====Word 行业资料分享--可编辑版本--双击可删==== 阿尔卡特线.功能键： CONTROL 写入功能键：当要写入内容时，按下此键屏幕出现“*”时 方可写入内容，否则只能读出不能写入 返回或退出键：当要退出某个程序界面时，按下此键即可 SET 退出 选择翻页或数值增减键：在某个界面做出合理的选择时，按此键可进 行上下选择功能键；在要对数值做修改时按此键即可增减数 值 确认和进入键：当选择某一个功能界面时，按下此键即可进 ENTER 入此功能界面 START 运行键：按下此键即可开机运行 STOP 停止键：按下此键设备停止 PURGE 吹扫用N 开关键 2 PURGE ROOTS 罗茨泵开关 AUX 尾气排放开关 2.需要注意的几点： ====Word 行业资料分享--可编辑版本--双击可删==== STANDBY 模式下必须是ENABLED 而不是DISABLED ，否则温度 0 上不去，即温度在3050 C 。而不是正常值范围内，当出现这样一种情况，先 把泵关掉按“+、—”键进入按回车键修改。 当出现“ADP 报警（038 ）”时，把机台前盖取下，将泵前面的两端盖 取下，用手转动转子即可再运行，否则会将泵损坏。 端盖 氮气的流量一般是在40—70L/min ，如果是120—140L/min，说明流量 计也许会出现问题，这时泵仍可以使用，当停机后能检查流量计。 N 流量计 2 0 机台的报警温度在120 C，报警功率在3500W ，停机功率在5000W 。 当流量计浮子没起来时，说明冷却水管被堵塞，这时将水管快接头用压缩 空气吹入管道，观察浮子是否被吹起来，一般的情况下浮子应该在上端。 ====Word 行业资料分享--可编辑版本--双击可删==== 流量计浮漂 水管快接头 3.设备原理图： 原理图一 气路原理图 ====Word 行业资料分享--可编辑版本--双击可删==== 原理图二 电路图 ====Word 行业资料分享--可编辑版本--双击可删==== 原理图三 冷却水原理图
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