Busch(普旭)是一家在范围内供给真空泵、鼓风机和紧缩机的出产厂商。到2015年停止, 普旭在范围内具有3000名职工。 广泛的真空泵系列、专业的真空常识、在真空体系制作方面的丰厚经历以及广泛的服务网络,使得 Busch 彻底有才能为客户供给抱负并完善的真空解决计划。油光滑旋片真空泵旋片技能简化了真空泵的工艺结构。油光滑旋片规划,辅以*的制作资料,配以*的精细制作,确保
其在持续作业时可以得到安稳的高真空。高效的抽气体系和集成式回油管路结合*的排气过滤器能确保排气洁净无油污染。当装备气镇阀(可选)时,可处理更大容量的蒸汽。当封闭真空泵时,进口法兰内的单向阀可防止空气回流至真空仓内。泵体由一台法兰衔接的规范电机直联驱动,电机能效等级为 IE2。[1]
爪式真空泵的两个爪形转子在缸体内以相互相反的方向旋转。空气和工艺气体被爪型转子吸入后紧缩并排
Mink放。爪型转子之间既不会相互触摸,也不会与其作业地点的缸体发生触摸。爪型转子与缸体之间的严密空隙既对其密封性进行了优化,又确保了持续的高抽速。同步齿轮确保了转子*的同步作业。Busch 的 Mink 爪式真空泵一台法兰衔接的异步电机直联驱动,电机能效等级为 IE2。
COBRA Industry 干式螺杆真空泵能高效作业于很多工业范畴。该类型展示了在无油真空技能所具有的多年经历,选用传统轴承体系,是加工技能运用的抱负之选。[2]
COBRA Semicon 干式螺杆真空泵为工艺苛刻的半导体、太阳能、平板显示器出产及镀膜职业供给有用的解
决计划。具有不一样版别:DS(职业规范、气密、传统轴承体系)、BA(气密、悬挂式轴承体系、气冷型)、BC(气密、悬挂式轴承体系、水冷型)。全部这些真空泵都是专为半导体职业的杂乱运用而规划的。
Panda 与 Puma 罗茨泵是无油作业的真空泵,需合作前级泵运用,适用于全部需求大吸气量的粗真空和高真Panda/Puma(2张)空运用。此类加强型真空泵大幅度的提升了前级泵的输出。
Puma/Panda 系列类型真空泵:WP/WPA(工业用、规范型)、WV(工业用、带旁通阀)、WY(半导体、气密)、WZ(半导体、带旁通阀、气密)。[3]
SecoSeco 真空泵的作业方法依据老练的旋片技能原理。因为运用自光滑旋片,因而无需作业液光滑。彻底选用无油干式紧缩的方法。经过*匹配的资料、腔体内的特别石墨旋片、有用的排热和*的精细加工工艺,得以完成接连作业时的高真空。
三叶罗茨风机按照罗茨体系原理作业:两个平行的转子在泵体内以相反的方向作业。泵送介质被密封在转子和泵腔之间,并经过转子的旋转运动,将其紧缩后泵送至排气口。风机进口装备有集成消音功用的进气过滤器。而被紧缩介质经风机排放之前,它也将由排气消音器处理后排出。驱动设备由电机及三角皮带构成。三角皮带的驱动方法可使风机转速得到*的调理以合作出产工艺。
液环真空泵通常将水用作作业介质。偏置叶片在部分填充液体的泵腔中旋转。叶片的旋转运动所发生的离心力使泵腔内的液体构成液环。气体在各叶片和液环之间的空间传递。因为叶轮偏置,空间增大,出产气体经过吸入槽吸入;跟着叶轮持续旋转,空间减小,从而使气体被紧缩并经过排出槽排出。真空泵可选用水循环的开环或闭环进行操作。
Samos 侧流风机依据脉冲原理作业,旋转叶轮发生的动能被传送到泵送介质并转化成压力。直接装置在驱动电机轴上的叶轮和铝外壳构成的侧通道使得介质在其中被紧缩,然后经过压力侧的消音器排出。直接装置在驱动电机轴上的叶轮和铝外壳构成的侧通道使得介质在其中被紧缩,然后经过压力侧的消音器排出。
涡旋真空泵主要由固定涡旋盘与驱动涡旋盘构成。驱动涡旋盘在固定涡旋盘中滚动,发生一个旋转运送动作,将气体从涡旋盘外缘吸入,然后将其在两个涡旋盘间紧缩并运送至涡旋盘*。[4]
Busch 涡轮分子线 A 选用涡轮机作业原理。快速旋转的涡轮叶片在定子叶片之间滚动。
Turbo这种滚动将动能传至真空泵内无序的气体颗粒,进而将气体分子从进气口经过紧缩传送至真空泵的排气口。
Rangu 分散真空泵的根本组件是一个圆柱形泵和可加热底部。可加热的油作为泵的作业液。油蒸汽上升进入喷嘴体系,经过几道蒸汽流阶段后在高压下排出体系。工业废气中的分子被这些蒸汽流捕获下移,流向前级泵出口。油蒸汽在水冷式泵机组内凝聚,直接回来机组底部。凭借其多阶段、立异的喷嘴理念,Rangu 分散真空泵可以给咱们供给极高且安稳的抽速。
经过全方面了解影响挑选的要素,寻觅合适详细运用的真空解决计划。普旭的体系工程师在规划过程中考虑各方面要求,依据其在很多装置项目中获取的经历,为客户量身定做真空体系。
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