在安装泵之前,应在进气口和出气口打开的情况下检查电机旋转方向。从电机端看,驱动轴应逆时针旋转。注意电机或外壳上指示旋转方向的箭头。如果电机转向错误,能够最终靠在电机连接端子块上互换两相来纠正。
未达到或达到一定的要求的极限压力过慢时的故障原因如果在Leybold莱宝真空设备中根本就没有达到所需的极限压力,或者仅在抽气时间过长后才达到,那么可能是以下问题的原因:
为了定位故障,您应该将抽真空的容器与泵系统分开,并确保泵系统单独达到极限压力。如果未达到极限压力,请参阅各个泵部分以了解所用泵的类型。
接下来,您需要用升压法等方法检查容器和管道/法兰连接是不是真的存在泄漏和污染。众所周知,法兰密封是最容易出现泄漏的地方,这是由最初看起来微不足道的轻微划痕和机械损坏造成的。如果容器在这方面没有缺陷,则将检查测量系统的清洁度(参见维护仪表页)。
Leybold莱宝真空容器的污染和消除污染检测污染的常用程序是比较同一真空计在管路中插入和未插入冷阱的压力指示:用液氮填充冷阱会导致压力突然下降,下降幅度为十个或更多,如果容器被污染,因为蒸汽会在疏水阀中结冰。
消除金属设备的污染金属部件通常会表现出被油和油脂污染的痕迹。如果这些不能通过抽空容器轻松去除,则一定要使用适当的有机溶剂(变性酒精在所有情况下都不适合)进行清洁。使用工业中常见的蒸汽浴能轻松实现最大的清洁度。实现极低的压力范围( 10-7mbar)金属部件在清洁后必须在高达 200C 的温度下烘烤。严重污染的金属部件首先一定要通过切割或喷砂顶部表明上进行清洁。这一些方法有这样的风险,即被处理的表面积会通过粗糙化而增加,并且可能会形成容易吸附蒸气分子的活性中心。建议在蒸汽浴中做补充清洁。在某些情况下,表面的电解酸洗可能是有益的。在Leybold莱宝高真空元件的情况下,一定要保证酸洗不会变成蚀刻,这会严重增加表面积。在粗真空和中等真空范围内工作时,无需抛光已喷砂的表面,