莱宝LEYBOLD真空泵 我公司销售的德国LEYBOLD线毫巴至极限压强的所有压强模式 2.在低压强下仍保持高的抽速值 3.低噪音，低震动 4.用SV泵与罗茨泵组合，可达到10，000米3/小时的抽速 5.排气无油雾，高效空冷系统 6.轻便的设计结构，易于安装 7.坚固耐用的构造，易于维修 C00 TRIVAC C 系列双级油封旋片泵 TRIVAC C是双级油封式旋片真空泵，TRIVAC C的高效，可靠，低噪音，易维护的设计非常适合于科研、化工、分析仪器以及制冷业和电光源产品的生产使用，也可做为大型真空系统的前级泵使用。 - 抽速：8m3/h～60m3/h - 极限分压强：10-4mbar c/s - 内置防返油阀 产地：欧瑞康莱宝 天津 D8C D16C D30C D40C D60C Nominal Pumping Speed (50Hz) m3/h 9.25 19.48 37.01 49.44 74.02 Pumping Speed m3/h 8.11 17.01 32.24 42.99 64.37 Nominal Pumping Speed (60Hz) m3/h 11.10 23.39 44.41 59.33 88.82 Pumping Speed m3/h 9.65 20.33 38.64 51.78 72.23 Ultimate Partial Pressure Without GB mbr 4×10-4 4×10-4 4×10-4 4×10-4 4×10-4 Ultimate Total Pressure Without GB mbr 3×10-3 3×10-3 3×10-3 3×10-3 3×10-3 Ultimate Total Pressure With GB mbr 6×10-3 6×10-3 6×10-3 6×10-3 6×10-3 Water vapour tolerance mbr 30 20 40 20 25 Connecting inlet and exhaust DN KF25 KF25 KF40 KF40 KF40 Noise (sound pressure level at 1m with GB closed/open(50Hz)) db 54/56 55/58 58/60 58/60 58/60 Oil filling (Max/Min) 1 1.1/0.7 1.5/1.0 3.7/3.2 5.0/4.4 5.0/4.5 Weight without oil filling Kg 27 31 69 83 84 Ambient temperature (Max/Min) ℃ 40/10 40/10 40/10 40/10 40/10 Motor power 1Ph.220V.60Hz W 550 750 Total Length mm 471 560 Catalog 31046 31050 Motor power 3Ph.380V.50/60Hz W 550 750 1500 1500 2200 Total Length mm 500 540 650 760 780 Catalog 31018 31091 31108 31159 31158 C01 TRIVAC E and B 系列双级油封旋片泵 欧瑞康莱宝的TRIVAC B系列双级油封旋片泵的主要技术参数为： 抽速：1.6m3/h～65m3/h 极限线mbar(无气镇分压强) 2×10-3mbar(无气镇全压强) 5×10-3mbar(带气镇全压强) 耐水蒸汽能力：25mbar～40mbar 欧瑞康莱宝的TRIVAC B系列双级油封旋片泵的主要特征： 1、内置油泵，对泵腔进行强制润滑。因此能在入口压强为大气压的情况下连续工作。 2、内置自动防返油阀，可在停泵时自动将进气口截止，防止返油。 3、进气口和排气口有水平或垂直两种安装方法。 4、极强的耐水蒸汽能力。 另外，欧瑞康莱宝的TRIVAC B家族中还有以下用于特殊用途的真空泵。 - 专门用于汽车刹车油注入的TRIVAC D16 B-DOT。 - 用于制冷行业中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX，ATEX认证防爆泵。 - 用于半导体行业的防腐蚀泵TRIVAC BCS系列。 C02 SOGEVAC 系列单级油封旋片泵 欧瑞康莱宝的SOGEVAC系列单级油封旋片泵的主要技术参数为： 抽速：10m3/h～1400m3/h 极限线B极限线mbar (无气镇分压强) 1.5mbar (带气镇分压强) SV200，SV300，SV500，SV630/B/BF，SV750/B，SV1200，SV1400的极限线mbar (无气镇分压强) 7×10-1mbar (带气镇分压强) 排水蒸气能力：0.3～23公斤/小时 欧瑞康莱宝的SOGEVAC系列单级油封旋片泵的主要特征有： 1、超强的排除水蒸气的能力。 2、出口油雾过滤器为标准配置，真空泵油循环使用，无油烟，清洁、环保、省油。 3、可以在进口压力为大气压的情况下连续工作。 4、在低压强下仍能保持高的抽速。 5、内置自动防返油阀。 6、SV630以下为风冷，不需要水冷，经济方便。 7、低噪音，低振动。 8、结构紧密相连，体型小，节约空间。 9、可以与各种附件配套使用，因而能够完全满足各种不同应用的需要。 欧瑞康莱宝的SOGEVAC BI 系列单级油封旋片泵的主要技术参数为： SV16BI SV40BI 抽速： 16m3/h 40m3/h 排水蒸气能力： 0.03公斤/小时 0.2公斤/小时 极限线mbar (无气镇分压强) ≤0.5mbar (带气镇分压强) SOGEVAC BI单级油封旋片泵的主要特征有： 1、极限压强更低。 2、在低压强下仍能保持高的抽速。 3、适用于分析仪器、实验室、照明、汽车等。 C03 活塞式和涡旋式干泵 ECODRY M 系列活塞式干泵 Ecodry系列为欧瑞康莱宝最新推向市场的一种干式泵。它能够完全满足除半导体行仪以外的所有干式真空的需要。由于它相对于其他干式泵来说，结构相对比较简单，价合理，因此刚一面市、即受到广大格用户的欢迎。 Ecodry活塞式干泵的主要技术参数： 抽速：14m3/h～30m3/h 极限线mbar 排水蒸气能力：25mbar(最大) Ecodrg活塞式干泵的主要特征： 1、结构相对比较简单，易于操作和维护； 2、工作过程中不产生粉尘； 3、耐粉尘，排水蒸气能力强； 4、低能耗，坚固耐用，可靠性高； 5、可以选配变频器增大抽速； 典型应用：质谱仪，电子显微镜，照明，镀膜，loadlock，无油高真空前级泵等。 SC涡旋式真空泵 目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展迅速，对洁净真空的要求慢慢的升高。为满足客户对无油洁净真空的需求，欧瑞康莱宝推出了SC系列涡旋式线、SC系列真空泵特点： ·可以提供抽速为5,15和30m3/h的3款产品SC5/15/30D； ·高极限线mbar； ·低噪声； ·低振动； ·允许进气压力大； ·重量轻； ·能耗低； 2、应用范围： ·电子束焊接； ·激光； ·检漏系统； ·加速器/同步加速器； ·表面分析仪； ·STM’s； ·ELMI； ·小型涡轮泵组； ·搬送室； C04 DIVAC 系列膜片泵 单级膜片泵DIVAC0.6、1.2、2.2 - 抽速：0.6～2.2m3/h - 极限线mbar - 噪音：51～60DB 双级膜片泵DIVAC 0.6L、1.2L、2.2L - 抽速：0.6～2.2m3/h - 极限线mbar - 噪音：47～52DB DIVAC系列的主要特点： 1、无油线、可选配气镇阀，耐水蒸气能力强。 3、所有与介质接触的部件均由PTFE(聚四氟乙烯)和PVDF(聚偏氟乙烯)制成，因而具有极好的耐腐蚀性和耐溶剂性。可以用来抽除任何化学介质。 4、紧凑，体积小。 5、易于清除凝聚物，易于更换膜片。 低极限真空、低震动的膜片泵DIVAC 0.8T，0.8LT，2.5T，2.5VT，3.6LT，4.8VT - 抽速：0.8～4.8m3/h - 极限线mbar - 噪音：49～55DB 特点： 1、极限压强低，抽速大。 2、低震动，低噪音。 3、可用于欧瑞康莱宝TW系列的前级泵。 C05 ScrewLine 系列螺杆式干式压缩真空泵 欧瑞康莱宝公司在2002年底正式推出的SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题，如粉尘、焦油等。 技术参数： 抽速：250～630m3/h 极限线mbar 电机功率：15KW 噪音：75dB 冷却方式：风冷 主要特性及优点： 1、无油真空泵 由于真空腔内没有油润滑，因此粉尘不会存留在泵腔内，而是随着气体从排气口排出泵外。 不需处理废油，环保。 2、无油压缩真空泵 由于气体在泵内有压缩，因此消耗功率低。 3、泵腔内没有任何的内部阀门，排除了因内部阀门而产生的故障的可能性，因此耐粉尘和焦油能力强。 4、泵腔外壳可方便地拆卸，便于清洗螺杆(当必要时)，并可在客户现场由用户自己完成。 5、螺杆表面有非常坚硬的涂层。 6、泵腔内部无轴承和密封，大大降低了故障率。 7、螺杆内部中空，有冷却装置，螺杆寿命长。 8、动密封为无接触的齿轮环，密封无接触，无磨损，无需维护和更换。 9、易于维护的设计理念，日常的简单维护极其方便。 10、SP Guard监控器 可以在泵需要维护前报警，使得维护只有在必须时才进行。 典型应用： 工业炉——冶炼和热处理 真空焊接——电子束焊等 镀膜——大面积镀膜等 真空干焊——食品和药品的干焊 包装工业 空间模拟 科研领域 附件： 出口消音器 罗茨泵连接器 SP Guard监控器，监控所有重要的运行参数 粉尘过滤器 C06 E and DK 系列滑阀泵 欧瑞康莱宝生产的滑阀泵包括单级滑阀泵E250和双级滑阀泵DK200。它们的主要技术参数为： 抽速： 250m3/h(E250) 200m3/h(DK200) 极限线mbar(无气镇分压强) 5×10-1mbar(开气镇全压强) DK200：5×10-4mbar(无气镇分压强) 4×10-3mbar(开气镇全压强) 耐水蒸汽能力： E250：60mbar DK200：26mbar 主要特点： 1、内置气镇阀，高耐水蒸汽能力； 2、震动低； 3、坚固耐用，适合于长期连续可靠的运行； 4、不需要水冷； 5、齿轮箱为单独油路润滑，这样就避免了对泵腔内润滑油的污染。 C07 RUVAC 系列罗茨泵 在250～2050米3/小时的抽速范围内，欧瑞康莱宝的罗茨泵的电机有直联式(WA/WAU)和封闭式(WS/WSU)两种规格，每种规格又分为带逸流阀、可在大气下启动的WAU/WSU和不带逸流阀的WA/WS的两种形式。 为了满足某些行业中对大抽速罗茨泵的需要，欧瑞康莱宝还有另一个系列的大型罗茨泵(RA系列)，其抽速为3900～13000米3/小时。 欧瑞康莱宝的RUVAC罗茨泵与专用的变频器配合使用，可使泵的抽速增加(最大)100%，从而弥补了各规格之间的抽速空挡。 另外，欧瑞康莱宝还提供专门用于激光应用的罗茨循环风机。 欧瑞康莱宝罗茨泵的主要特点： 欧瑞康莱宝所有规格的罗茨泵均采用风冷，无需循环冷却水系统。 WAU/WSU系列可以在大气下启动，既可简化系统的控制程序，又提高了从大气压到10mbar范围内机组的抽速。 在很宽的压强范围内，即使在极限压强附近，都具有很高的抽速。 加工精度高，可将前级真空度提高一个数量级。 震动小，噪音低。 有立式泵和卧式泵可供选择。 WS/WSU系列为CANNED电机，与无油前级泵组合，可组成无油真空机组。 可以与变频器配合使用，以增加或降低抽速。 C08 RUTA 罗茨泵组 随着真空技术和真空应用的发展，新的真空问题不断涌。在这种情况下只是为客户提供真空元部件已越来越不能实现用户的要求。 莱宝公司作为一个专业的真空设备供应商，始终把为广大客户提供真空解决方案视为己任。在提供具有最优秀品质的真空元部件的同时，还为客户度身定做，提供既能满足真空要求，又最经济的最佳解决方案--真空泵组。 RUTA 罗茨泵组的抽速由250到32000米3/小时，可以分为两极泵组和多级泵组，极限线mbar，乃至更高。除标准产品外，根据不同工艺的需要，还可以为客户专门设计定制应用于某些特殊用途的泵组，并在系统中加装各种附件，如冷凝器、粉尘过滤器、真空计、真空阀、压力控制元件，温度控制元件等。另外，还可以耕具工艺过程，设计可实现全程自动控制的电控柜。 C09 涡轮分子泵系列 莱宝的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵有五种规格，抽速自50至1100升/秒，极限线mbar。 其主要特征为： - 陶瓷轴承为脂润滑，无维护运行时间长。 - 允许任意角度安装。 - 有水冷和风冷两种选择。 - 对H2的压缩比大。 - 无油真空泵，可用来产生洁净的超高真空。 TW系列复合分子泵 抽速： 70 ～ 1600 升 / 秒 极限线 mbar 最大允许前级压强： 6 ～ 14mbar 主要特点有： - 转子叶片为一次成型，消除了叶片应力，使得前级耐压高达 14mbar ，并能抵抗短暂的大气冲击。 -高效的风冷系统，使其在绝大多数工作条件下无需冷水。 - 变频器与泵体的一体化设计，避免了连接变频器带来的不便。 - 模块化的设计为用户提供了多种选择。 - 结构紧凑，可方便地安装到复杂的系统中。 - 可以任意角度安装。 - 螺旋式的拖动级耐粉尘能力强。 - 轴承为油脂润滑，无维护运行时间长。 - 无油真空泵，可用来产生洁净的高真空和超高真空。 - 可在轴承需要维护时提前预警。 - 通过通讯接口可以与掌上电脑， PC 或 PLC 联络，以读取分子泵工作状态的参数，以及储存单元的运行记录；并可根据需要对某些参数进行修改，如频率等。 - 高前级耐压降低了对前级泵的要求，使得系统总体造价降低。 新一代数字化控制，五轴定位的磁悬浮分子泵 MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ， MAG2200C/CT ， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT 抽速： 1500l/s ～ 3200l/s ? 五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、抗气流冲击。 ? 转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子长期运行温度可高达 120 ℃ 。 ? 转子及定片均采用莱宝专利技术的 KAPLAR 涂层 ? 较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能，适用于抽除腐蚀性强的工艺气体； ? 降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命； ? 叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。 ? 保护轴承为陶瓷轴承，寿命长（ 600 次），无需更换保护轴承。 ? 高真空端连接采用 ISO-F ，连接螺栓强度高，充分保障安全。 ? 智能化电源，无需 UPS 。 ? 带拖动级，前级耐压在 2mbar 以上。 ? 分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。 ? 最先进的数字控制技术 ? 运行速度、温度可设置； ? 运行数据记录存储，提供多达 180 条运行信息； ? 磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短 ? 转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短； ? 在气流长时间（ 2 分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。 ? 控制器与泵无识别性，可互换。 ? 免维护。 典型应用： 适用于 ? 所有半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入 ? 科研领域 ? 镀膜 另外，莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。 C10 真空系统及应用解决方案 随着真空技术与真空应用的发展，新的真空应用要求不段涌现。在这种条件下只为客户提供真空部件已经越来越不能满足客户的需求了。 欧瑞康莱宝作为一个专业的真空设备供应商始终把为客户提供真空解决方案为己任。在为客户提供具有最优秀品质的真空元部件的同时，又利用欧瑞康莱宝多年的真空应用经验和尖端的真空技术为客户量身订做既能满足真空要求，又最经济的最佳解决方案—真空系统。 RUTA 罗茨泵组 RUTA 罗茨泵组的抽速由250到32000米3/小时，可以分为两极泵组和多级泵组，极限线mbar，乃至更高。除标准产品外，根据不同工艺的需要，还可以为客户专门设计定制应用于某些特殊用途的泵组，并在系统中加装各种附件，如冷凝器、粉尘过滤器、真空计、真空阀、压力控制元件，温度控制元件等。另外，还可以根据工艺过程，设计可实现全程自动控制的电控柜。 PT系列分子泵机组 分子泵及其前级泵的的选型比较复杂需要考虑很多因素如：被抽气体，工作真空度，腔室材料，工艺气体量等。同时根据生产和科研的要求还要选用不同的配件和控制系统。欧瑞康莱宝根据多年的经验为客户提供了多种组合的分子泵系统，为客户提供了成型的解决方案。 标准分子泵系统（分子泵与双级旋片泵组合） PT50/PT151/PT361 干式分子泵系统（分子泵与前级干泵组合） PT70 Dry/PT 70 Compact/PT300 Dry/PT301 Dry 此外还可以根据客户需要定制分子泵系统。 扩散泵系统： 在冶金，热处理和镀膜等领域，欧瑞康莱宝可以为客户量身定做各种规格的扩散泵组。 欧瑞康莱宝真空本地化的泵系统和技术支持根据中国客户的要求，德国工厂设计的标准为中国客户设计组装各种真空泵系统，并可以为客户提供专业的真空技术咨询和解决方案。 C11 DIP 系列扩散泵 欧瑞康莱宝于九十年代研发的最新型的DIP系列大口径扩散泵，对传统扩散泵在许多方面做了重大改进，其主要特点： - 抽速大；抽速范围为3000～50000升/秒(ISO/DIN国际标准，既中国国家标准)，共分六种规格； - 泵壁有凹槽，冷却水管卧在凹槽内，增大了接触面积，冷却效果好； - 油蒸气返流量低。不加外置水冷挡板并使用DIFFELEN普通矿物油，其返流量为1×10-3毫克/厘米2每分钟，如果采用DC705硅油，返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分钟； - 极限线mbar； - 重量轻；50000升/秒抽速的DIP50000扩散泵的重量仅为560公斤； - 采用插入扩散泵内部的多支加热棒加热，热传输效率高，因此预热、时间短；对于抽速为3000-20000升/秒的泵，预热时间为小于25分钟；30000和50000升/秒的泵，预热时间小于30分钟； - 可在不停泵的情况下更换扩散泵的加热棒； - 装有过热保护装置，防止泵油过热； - 通过油观察窗可随时观察油是否变质； - 有注油口和放油口，换油时无须把扩散泵从真空系统中拆下； - 最大允许前级压力高，为0.6mbar。 - 在冶金、热处理和镀膜等领域，欧瑞康莱宝为客户度身订做各种规格的扩散泵组。 C12 Cryopumps,Cryogenics 系列低温泵 低温泵是气体捕集泵，它的工作原理包括低温冷凝、低温吸附和低温捕获。 欧瑞康莱宝的COOLVAC系列低温泵的抽速从800到60000升/秒(对氮气)，共分七个规格，可用于产生高线mbar。 欧瑞康莱宝的低温泵的主要特点有： ·与相同口径的其他泵比较，低温泵具有最大的抽速。对水蒸气抽速极大。 ·无碳氢化合物的污染，可拿来产生洁净的高真和超高真空。 ·只有在低温泵启动和再生时才需要前级泵。 ·欧瑞康莱宝低温泵的MULTIPLE运行方式可以允许两台或两台以上的低温泵同时工作，而共用一台压缩机。 ·欧瑞康莱宝的所有低温泵全部装有安全阀，如发生如断电等意外，当泵内压力超过大气压150mbar时，安全阀自动打开。 欧瑞康莱宝的COOLVAC系列低温泵采用的是电加热、全程自动控制的再生方式。它的主要优点有： 1、电加热的再生方式无需氮气，其运行成本比吹氮气的再生方式低60%； 2、在欧瑞康莱宝低温泵的再生过程中，温度自第二级冷头向第一级冷头逐渐升高，气体依次排出，避免了吹氮气再生中气体同时放出后产生腐蚀性或危险性气体的可能(如H2和O2，H2O和CO2)； 3、自动控制器在再生全过程中对泵内压力及温度分布进行自动控制； 4、再生迅速，耗时小于40分钟； 5、再生彻底，经50次快速再生后才需要一次完全再生。而其他的低温泵每次进行5次快速再生后就要进行一次完全再生。 COOLPOWER冷头 欧瑞康莱宝生产的COOLPOWER系列冷头可广泛用于低温泵的冷却，核磁共振中的超导磁体等超导材料的冷却，样品和精密仪器如光谱仪、红外和伽马射线探测仪的冷却等。它的主要特征有： 1、制冷迅速，操作方便。 2、气态氦作为工作介质，无需液态冷媒。 3、制冷能力强。 4、工作范围： 二级冷头最低温度：4.2K～20K 一级冷头最低温度：28K～80K COOLPAK压缩机 欧瑞康莱宝生产的COOLPAK是专门为低温泵和冷头提供压缩氦气的压缩机。与其他同类型的产品不同，它采用的是蜗旋式工作原理，因此体积小，重量轻，耗电量和冷却水量低，噪音和振动小，寿命及无维护时间长，操作简单便捷，通过计算机可远程控制。COOLPAK MD系列可以同时供几个冷头工作。
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