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4) 在抽暇体系中,单级和双级旋片泵(TRI VAC; SV)或许旋转活塞泵(E/ DK)连同罗兹泵
<(RUVAC)是一系列前级泵。
拔 掉 前级装 运 法兰( 5/5 )软 管 接嘴的 堵 头,便 可 破
发运的 DIP 泵已抽暇。只要当即装置泵时,才容许翻开前级真空装运法兰堵头
咱们主张金属热屏蔽罩(5/14)和其他体系部件间留有 500mm 检修空隙。以
查看中心定位环(14/16)、O 形圈(14/17)和外环(14/18)可不牢靠座入