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】的内容，能够正常的使用淘豆网的站内搜索功能，选择自身适合的文档，以下文字是截取该文章内的部分文字，如需要获得完整电子版，请下载此文档到您的设备，方便您编辑和打印。:..真空泵参数及选型..真空泵选型真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到一定的要求的真空度。归纳地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,到现在为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。所以,为达到不一样产品的工艺指标、工作效率和设施工作寿命要求、不一样的真空区段要选择不一样的真空系统配置。为达到最正确配置,选择真空系统时,应试虑下述各点:确立工作真空范围:----第一一定检查确立每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,一定仔细研究确立之。确立极限真空度在确立了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的最正确工作真空度。通常来说,系统的极限真空度比系统的工作线%,比前级泵的极限线%。被抽气体种类与抽肚量检查确立工艺要求的抽气种类与抽肚量。因为假如被抽气体种类与泵内液体发生反响,泵系统将被污染。同时一定考虑确立适合的排气时间与抽气过程中产生的气体量。真空容积检查确立达到一定的要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄露。考虑达到一定的要求真空度后在必定工艺技术要求条件下保持真空需要的抽气速率。主真空泵的选择计算S=(P1/P2)此中:S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积(L)t为达到一定的要求线为初始线为要求真空度(Torr)比如:V=500Lt=30sP1=760TorrP2=50Torr则:Log(P1/P2)=(760/50)自然上式不过理论计算结果,还有若干变量要素未考虑进去,如管道流阻、泄露、过滤器的流阻、被抽气体温度等。实质上还应当将安全系数考虑在内。当前工业中应用最多的是水环式线:..真空泵参数及选型..一般的要求是:1、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设施。2、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。3、抽肚量、抽出气体介质、温度。4、真空设施的占地面积、自动化程度、真空管道规格采纳线、真空泵的工作压强应当知足真空设施的极限真空及工作压强要求。如:线mmHg的真空度,采纳的线mmHg。往常选择泵的真空度要高于真空设施真空度半个到一个数目级。、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有必定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳固的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因此,泵的工作点应当选在这个范围以内,而不可以让它在10-8mmHg下长久工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设施工艺过程中产生的所有气体量。4、正确地组合真空泵。因为真空泵有选择性抽气,因此,有时采纳一种泵不可以知足抽气要求,需要几种泵组合起来,相互增补才能知足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不可以抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,二者组合起来,便会使真空装置获得较好的真空度。此外,有的真空泵不可以在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。5、真空设施对油污染的要求。若设施严格要求无油时,应当选各样无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格,可选择有油泵,加上一些防油污染举措,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到洁净线、认识被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒尘埃,有无腐化性等。选择真空泵时,必须了解到气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐化性气体,应当考虑在泵的进气口管路上安装协助设施,如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响怎样。假如环境不一样意有污染,能够选无油真空泵,或许把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不一样意,应选择无振动的泵或许采纳防振动举措。9、真空泵的价钱、运行及维修花费。这个化工手册有公式的,能够去查下!S=QRT/(P*M)S是抽气率Q是系统漏肚量,放肚量。T是温度,P系统压力M是系统气体分子量!线、玻义尔定律体积V,压强P,P?V=常数(必定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2=V2/V1)2、盖?吕萨克定律当压强P不变时,必定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比:(V1/V2=T1/T2=常数)2:..线:..真空泵参数及选型..当压强不变时,必定质量的气体,温度每高升(或P降低)1℃,则它的体积比本来增添(或减小)1/273。3、查理定律当气体的体积V保持不变,必定质量的气体,压强P与其余绝对温度T成正比,即:P1/P2=T1/T2在必定的体积下,必定质量的气体,温度每高升(或降低)1℃,它的压强比本来增加(或减少)1/273。4、均匀**程:λ=(510-3)/P(cm)5、抽速:S=dv/dt(升/秒)或S=Q/PQ=流量(托?升/秒)P=压强(托)V=体积(升)t=时间(秒)6、通导:C=Q/(P2-P1)(升/秒)7、真空抽气时间:对于从大气压到1托抽气时间计算式:t=8V/S(经验公式)(V为体积,S为抽气速率,往常t在5~10分钟内选择。)8、保持泵选择:S维=S前/109、扩散泵抽速估量:S=3D2(D=直径cm)10、罗茨泵的前级抽速:S=(~)S罗(l/s)11、漏率:Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏-系统漏率(mmHg?l/s)V-系统容积(l)P1-真空泵停止时系统中压强(mmHg)P2-真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)t-压强从P1升到P2经过的时间(s)12、粗抽泵的抽速选择:S=Q1/P预(l/s)S=?lg(Pa/P预)/tS-机械泵有效抽速Q1-真空系统漏气率(托?升/秒)P预-要达到的预真空度(托)V-真空系统容积(升)t-达到P预时所需要的时间Pa-大气压值(托)13、前级泵抽速选择:排气口压力小于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来保持其前级压力小于临界值,采纳的前级泵一定能将主泵的最大气体量排走,依据管路中,各截面流量恒等的原则有:PnSg≥PgS或Sg≥Pgs/PnSg-前级泵的有效抽速(l/s)Pn-主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)Pg-真空室最高工作压强(托)S-主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)14、扩散泵抽速计算公式:S=Q/P=(K?n)/(P?t)(升/秒)式中:S-被试泵的抽气速率(l/s)n-滴管内油柱上涨格数(格)34:..真空泵参数及选型..t-油柱上涨n格所需要的时间(秒)P-在泵口邻近测得的压强(托)K-滴管系数(托?升/秒)K=V0?(L/n)?(Υ0/Υm)+Pa△Vt此中V0-滴管和真空胶管的原始容积(升)L-滴管刻度部分的长度(mm)n-滴管刻度部分的格数(格)Υ0-油的比重(克/厘米3)Υm-汞的比重(克/厘米3)Pa-当地大气压强(托)△Vt-滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)15、旋片真空泵的几何抽速计算公式:S=πZnLKv(D2-d2)/(24104)(l/s)式中:Z为旋片数,n为转速(转/分),L为泵腔长度,D为泵腔直径,d为转子直径(cm),Kv为容积利用系数(一般取95%)。16、O型橡胶槽深B=D为橡胶直径,槽宽C=17、方形橡胶槽深B=A为方形橡胶边长,槽宽C=采纳真空泵时,必须要格外注意以下事项:1、真空泵的工作压强应当知足真空设施的极限真空及工作压强要求。如:线mmHg的真空度,采纳的线mmHg。往常选择泵的真空度要高于真空设施真空度半个到一个数目级。、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有必定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳固的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因此,泵的工作点应当选在这个范围以内,而不可以让它在10-8mmHg下长久工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设施工艺过程中产生的所有气体量。4、正确地组合真空泵。因为真空泵有选择性抽气,因此,有时采纳一种泵不可以知足抽气要求,需要几种泵组合起来,相互增补才能知足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不可以抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,二者组合起来,便会使真空装置获得较好的真空度。此外,有的真空泵不可以在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。5、真空设施对油污染的要求。若设施严格要求无油时,应当选各样无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格,可选择有油泵,加上一些防油污染举措,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到洁净线、认识被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒尘埃,有无腐化性等。选择真空泵时,必须了解到气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐化性气体,应当考虑在泵的进气口管路上安装协助设施,如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响怎样。假如环境不一样意有污染,能够选无油真空泵,或许把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不一样意,应选择无振动的5:..真空泵参数及选型..泵或许采纳防振动举措。9、真空泵的价钱、运行及维修花费。水环式真空泵的选择一、泵种类确实定泵的种类主要由工作所需的肚量、真空度或排气压力而定。泵工作时,必须要格外注意以下两个方面:46:..真空泵参数及选型..尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的地区内运行。应防止在最大真空度或最大排气压力在此地区内运行,不单效率极低,邻近运行。并且工作很不稳固,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此地区以内运行,常常还会发生汽蚀现象,产生这类现象的显然标记是泵内有汽蚀会致使泵体、叶噪音和振动。轮等部件的破坏,致使泵没法工作。依据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不可优先在单级泵中选用。高时,假如真空度或排气压力单级泵常常不或许,要求泵在较高真空度状况下较高,可以知足,仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时可采纳两级泵。假如线mmHg以上,可采纳水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。假如只作真空泵用,则采纳单作用因为单作用泵的结构相对比较简单,简单制泵比较好。造和维护,且在高真空状况下抗汽蚀性好。假如仅作较大肚量的压缩则采纳双作用的泵比因为双作用泵的肚量机使用,较适合。大,体积小,重量轻,径向力能获得自动均衡,轴不简单产生疲惫断裂,泵的常规使用的寿命较长。二、依据系统所需的肚量选择真空泵初步选定了泵的种类以后,对于真空泵,还要依据系统所需的肚量来采纳泵的型号。对于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我企业网页面对各样型式的水环式真空泵及压缩机,我们特将其各自特色采集以下,以利于用户选型代主要特号色极限线:..真空泵参数及选型..mmH工作g真空度mmH抽速g范围m3/密min封形式国内设计单级水环结构相对比较简单、维修方便。当前国内主流的低线根、机械密封国内设计双级水环真空泵,SK水环泵串连使用,比较单级水2sk相当于两台环泵拥有真空度高及高真空下抽速较大的特色。、机。-735-300~-700~30械密封2采纳西门子先进的技术,机泵同轴,结构紧密相连,效率高,真空度高,BV性能稳固,~6m速逐渐替代K、2SK列3/min抽的水环线B采纳西门子先进的技术,效率高,线/min抽速的水环线年月苏联技术,效率低,80年月初已被裁减,主要使用在于Z0能耗大,老用户-640~--300~-。~27盘根S50年月苏联技术,效率低,80年月初已被裁减,主要使用在于水ZB能耗大,泵引水,8:..真空泵参数及选型..当SK系列水环泵代前已被替。盘根2主要使用在于水环压缩机,最大6~3SY排气压强为--0机械密封2结构基本与2SK系列同样,能够用被抽介质作为工作液,极限真空YK度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限线:..真空泵参数及选型..本文由上海泰通泵阀供给:采纳真空泵时,必须要格外注意以下事项:1、真空泵的工作压强应当知足真空设施的极限真空及工作压强要求。如:线mmHg的真空度,采纳的线mmHg。往常选择泵的真空度要高于真空设施真空度半个到一个数目级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有必定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因此,泵的工作点应当选在这个范围以内,而不可以让它在10-8mmHg下长久工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设施工艺过程中产生的所有气体量。4、正确地组合真空泵。因为真空泵有选择性抽气,因此,有时采纳一种泵不可以知足抽气要求,需要几种泵组合起来,相互增补才能知足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不可以抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,二者组合起来,便会使真空装置获得较好的真空度。此外,有的真空泵不可以在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。5、真空设施对油污染的要求。若设施严格要求无油时,应当选各样无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格,可选择有油泵,加上一些防油污染举措,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到洁净线、认识被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒尘埃,有无腐化性等。选择真空泵时,必须了解到气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐化性气体,应当考虑在泵的进气口管路上安装协助设施,如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响怎样。假如环境不一样意有污染,能够选无油真空泵,或许把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不一样意,应选择无振动的泵或许采纳防振动举措。9、真空泵的价钱、运行及维修花费。水环式真空泵的选择一、泵种类确实定泵的种类主要由工作所需的肚量、真空度或排气压力而定。泵工作时,必须要格外注意以下两个方面:尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的地区内运行。应防止在最大线:..真空泵参数及选型..力邻近运行。在此地区内运行,不单效率极低,并且工作很不稳固,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此地区以内运行,常常还会发生汽蚀现象,产生这类现象的显然标记是泵内有噪音和振动。汽蚀会致使泵体、叶轮等部件的破坏,致使泵没法工作。依据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。假如真空度或排气压力较高,单级泵常常不可以知足,或许,要求泵在较高真空度状况下仍有较大肚量,即要求性能曲线在较高真空度时较平展,可采纳两级泵。假如线mmHg以上,可采纳水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。二、依据系统所需的肚量选择真空泵初步选定了泵的种类以后,对于真空泵,还要依据系统所需的肚量来采纳泵的型号。对于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我企业网页真空计算公式。面对各样型式的水环式真空泵及压缩机,我们特将其各自特色采集以下,以利于用户选型真空泵一览表抽气速率极限真配用功名称型号L/s空Pa率kW旋片2X(Z)型旋片式线:..真空泵参数及选型..来去真空泵-XD、X单级旋片线罗茨真空泵型单级旋片线~滑阀线线~ZJ型罗茨线真空泵机组阀线、CBF水环式线型双级水环式线BV型水环式线型双级水环式线SK型水环式线水环式真空泵SZ、SK型水~环式线~环式线真空泵YL型液环式线JZJ型罗茨、旋片线型罗茨、旋片线~~空泵机组JZJS型罗茨、水450m/min710环线茨、水环真空泵机组JZJH~型罗茨、滑阀线~120m/min(8~1~15)018512:..线~600~(1~-30~1200~5)1026134300~1~5~280m/min0~380(5110~10453~(51~70~1200~10)095m3/min~3~185339m/min~14)02270~6007~9255~1-30(1)线”表示正一个大气压,“”表示绝对真空。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值,只表示了真空度的相对值。真空度的换算;依据本表的刻度示值范围,真空度的绝对值与相对值可用下式换算:P=1105(1-δ/0.)1P-真空度的绝对值(Pa)δ-真空表的刻度示值绝对值例一:表的示值为O,则P=1105()=1105Pa=1个大气压例二:表的示值为,则P=1105()=0Pa为绝对真空。(绝对真空是不存在的)例三:表的示值为,则P=1105()=2104Pa本产品的线Pa(表面示值约为,靠近于)时的低真空度状态下还能保障正常工作。产品的真空度主要根据配套真空泵的性能。真空度计量单位换算以下:=1105Pa=760mmHg=1个大气压1乇=1mmHg=2乇=≈267Pa813:..线)真空表读数能够用直观的数字来显示。但价钱比较昂贵,一般合用于科研单位。用户若有需求,本企业能够订货供给。914
