LEYBOLD LEYBOLD S.A.S 莱宝真空法国工厂测量和分析技术真空工艺工程 线 SOGEVAC SV500, SV630 SV630F, SV750 适用编号： 956 55 (SV500) 9 56 63 (SV630) 956 67 (SV630F) 956 75 (SV750) …… 操作说明书 备件清单 1 LEYBOLD LEYBOLD S.A.S 莱宝真空法国工厂测量和分析技术真空工艺工程 线 合格证的 EC声明 我们，LEYBOLD SA，在此郑重声明，以下规定的产品在
、型号及流通过程中的改型方面均满足有关 EEC指令的安全和健康基础要求。 假如没有我们批准而对产品做任何改变，本声明将无效。 产品结构： 单级旋片泵 SOGEVAC 型号： UV25 SV 16 – SV 25 – SV 40 – SV 65 SV 100 – SV 200 – SV 300 – SV 585 SV 630 – SV 750 – SV 1200 和它们的改型，但不带电机交付的泵和带 Eex…..电机交付的泵除外。 产品满足下述指令要求： - EEC 机械指令（89/392/EWG）和相继指令 91/336/EWG - EEC 低电压指令（73/23/EWG） - EEC 电磁兼容性指令（89/336/EWG） 应用协调标准： - EN 1012.1 (project 1993) - EN 292.1 - EN 292.2 - EN 60204.1 注意: 真空泵安装和启动前，必须阅读并弄懂本使用说明书。 按照最新技术标准和安全规程已经制造出 SOGEVAC 真空泵。若无法正确的安装或不能按指导正确使用，会发 生危险。 在一定的运行条件下，当运转真空泵时也许会出现危险状态。如果发生这种情况，请与我们当地办事处联系。 警告： 表明为防止造成人身伤害必须特别遵守的PROC。 当心： 表明为防止设备损坏或破坏必须特别遵守的PROC。 图： 参考图，例如（2/10）在这个括号中是由图号和序号组成的。 我们保留修改本说明书所给设计和任何数据的权利。不另加说明。 警告： 当对泵系统操作时，一定严格遵守本说明书。 在开始任何工作前，设备一定要断电。要采取对应措施，保证泵不能启动。如果泵已抽过危险气体， 绝对必须确定涉及危害的性质并采取对应安全措施。遵守所有安全规程！ 在打开吸入口或排出口之前，一定要采取安全措施。 LEYBOLD维修 若需要把泵发往 LEYBOLD维修，请说明泵是否会有危害人体健康的物质或说明泵是否已被污染。如果泵已 被污染，还要说明危害的性质。为此，您一定要使用我们印制的表格，该表格按需求提供。“真空设备和组件污染说 明”的复印件复制在本说明书的最后。请把这个表格附在泵上或把泵与它一起包装。为满足 法规和保护我们 3 的工作人员，特需此说明。如果无“污染说明”，LEYBOLD将把收到的泵按发送人地址退回。 警告： 泵的包装一定要保证：泵在运输中不会损坏，并且不会有有害于人体健康的物质从包装中溢出。 目录 使用说明 p.5 1 概述 p.5 1.1 结构与功能 p.5 1.1.1 应用场景范围 p.6 1.2 标准规格 p.6 1.3 技术数据 p.7 1.3.1 欧洲型号的 50Hz和 60Hz电机 p.7 1.3.2 技术数据 p.7 1.4 接头 p.10 1.5 附件 p.11 1.6 SV+WAU直联组合 p.12 1.7 备件 p.12 1.8 润滑油 p.12 1.9 管理与存放 p.12 2 使用 p.13 2.1 安装 p.13 2.2 连接到系统上 p.14 2.2.1 吸入口侧 p.14 2.2.2 排气口侧 p.14 2.3 电气连接 p.15 2.4 启动 p.16 2.5 运行 p.17 2.5.1 抽空非冷凝气体 p.17 2.5.2 抽空可冷凝气体和蒸汽 p.17 2.5.3 循环工作 p.18 2.6 停车 p.18 2.7 线 安装选用的气镇阀 p.19 3 维修 p.19 3.1 日常维护
p.20 3.2 检查油 p.21 3.2.1 油位 p.21 3.2.2 GS77油状态 p.21 3.3 换油，更换油过滤器 p.21 3.4 更换出口过滤器，检查压力安全阀 p.22 3.5 清洗污物防护罩 p.23 3.6 检查防返油阀 p.24 3.7 清洗气镇进口过滤器 p.24 3.8 检查浮球阀 p.24 3.9 更换排气阀 p.25 3.10 更换泵组件 p.25 3.11 拆、装芯件 p.26 3.12 检查电机的皮带松紧 p.26 3.13 润滑轴承 p.26 4 故障排除指南 p.27 郑重声明 p.28 4 警告：本
对标准产品是有效的。如果交付的泵是特殊型号，则泵还带有附加文件，该文件作为说 明书的一部分，必须彻底弄懂它。 操作说明 1、概述 1.1、结构和功能 SOGEVAC SV 500 ,SV630/F和 SV750是单级油封式旋片泵。泵本身带有防返油阀、气镇 阀（选用件）、出口过滤器、回油线路和油冷却回路。泵由直联法兰电机驱动。 注：气镇阀在 USA销售的泵中是标准件。 安装在泵缸体（8a/21）中的偏心转子（8a/19）有三块叶片，它们把泵腔分成几个隔室。每个 隔室的容积随转子旋转周期性改变。 当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩张，将气体通过吸入口吸入。气体经过污物防护罩，打 开的防返油阀（8b/201）进入泵腔。当转子进一步旋转，叶片从吸入口将泵腔部分分开。这部分泵 腔体积减少，气体被压缩。气体在略高于大气压力时经过排气阀（8a/28）从泵腔中排出。 油被注入泵腔起密封，润滑和冷却泵的作用。 压缩气体夹带的油在油箱（9/56）内由于折转而被初步捕集。然后在出口过滤器元件（9/61） 中被彻底过滤。于是，排气中油含量下降至低于可见程度（捕集率大于 99%）。 在出口过滤器中捕集的油经过回油管返回到进气室。为避免大气压下的气体从油槽流入进口， 回油管由一个浮球阀控制。 油循环是由油箱（压力高于或等于大气压）和泵的进气口（压力小于大气压）之间有的压差维 持的。一部分油取自油槽，经过油过滤器流到转子的轴承支撑点和泵腔。注入泵内油的另一部分不 会通过油过滤器。所以，如果油过滤器偶然完全堵塞，通过有充足油量的第二线路确保润滑，从 而保证泵良好机械运转。 然而在这种情况下，泵达不到规定的极限压力。一般来说这表明油脏了或油过滤器被堵塞了。 5 在电机轴上旋转的风扇产生冷却所必须的空气流，来通过冷却盘管中的润滑。 依据需求，可订购带气镇装置的泵（USA型号的泵气镇阀为标准配置）。 打开气镇阀，让被称作“气镇”的可控制的少数的空气进入泵腔。当抽空可冷凝气体或蒸汽 时，这气镇可防止可冷凝气体在泵内的冷凝（最大容许水蒸汽压力见技术参数）。 有不一样的种类的气镇： - 标准气镇 - 较大气镇（10%） - 带电磁阀的气镇 见 2.5.2 供货时不带气镇阀的泵，也可加装气镇阀。（参阅第 1.5节和第 2.8节） 用防返油阀（8b/201）防止真空腔的意外破空和返油。 1.1.1 应用场景范围 根据设计，SOGEVAC泵可用来抽空稳定气体，其工作范围为从大气压到泵极限真空之间的粗真 空范围。 警告 SOGEVAC泵不能抽空侵蚀性、腐蚀性的、易爆或易燃气体。 若存在有侵蚀性的，易燃的，腐蚀的或易爆气体，请与 LEYBOLD公司联系。 根据设计，这些泵不能在易燃或易爆环境下工作。 若有问
，请与 LEYBOLD公司联系。 当心 泵不适合抽空液体或含有灰尘的介质。必须引入相应保护措施。 如有问题，请与 LEYBOLD公司联系。 在抽空氧含量高于大气（
20%）的气体或其它高活性气体之前，泵必须改型，除油，然后必须 使用特殊油（例如 PFPE）。 采取相应安全措施。 请与 LEYBOLD联系以获取有关重要的安全说明书。 1.2 标准规格 6 处于备用状态的泵，电机随泵一起提供。随泵一起提供的还有 GS77或等同的油已注入泵内。 连接口由塑料保护盖封住。在启动泵之前要去除这些塑料保护盖。 1.3 技术数据 1.3.1 欧洲型号的 50Hz和 60Hz电机。 SV500，SV630/F和 SV750的标准型安装的是 50/60Hz电机。 标准电压： +10% -6% 在 50Hz下 230/400V 在 60Hz下 460V+10% 1.3.2 技术参数表 SV500 SV630 SV630F SV750 50Hz 名义抽速 m3.h-1 570 700 700 840 抽速 m3.h-1 510 640 700 755 无气镇 1）下的极限分压 mbar
使蒸汽冷凝到油中。 对高含量冷凝蒸汽抽空过程，应在达到工作温度后，缓慢打开进气管路，防止过量蒸汽进入泵。 蒸汽冷凝在泵中的一个现象是泵运行中油位增高。 抽空过程中，蒸汽可溶解在油中。这会改变油的特性造成泵腐蚀。因此抽空过程结束后，不要立即停泵。而是 关闭进气管路，让泵在打开气镇下继续运行，直到油中无冷凝气体为止。我们建议在抽空过程结束后在这种方式下 运行 30分钟左右。 注意： 在循环抽空过程中，在每两个抽空过程之间的间隙过程中不要停泵，而应该关闭进气口，也许可以通过阀门来 实现。打开气镇阀让其继续运转。 当泵在极限压力下运行时，功率消耗是很小的。 一旦所有的蒸汽都从工艺过程中抽走（例如真空干燥），可关闭气镇阀，以改善极限压力。 2.5.3 循环工作 我们强调要限制泵的启动次数，应每小时 5或 6次。 如果工艺需要周期工作，我们建议使用气动式电磁导阀控制，让泵连续工作。 2.6 停车 在一般情况下，完成所有工作后要停泵。 SOGEVAC的进气口装有一个防返油阀，当泵断电时，它封闭进气口，从而使连接的系统保持真空，防止油返 入系统。气镇不防碍该阀门功能。 当抽空可冷凝介质时，泵断电前要打开气镇阀，关闭进气管路让泵继续运转（见第 2.5.2节）。 警告 如果泵要较长时间停置或如果泵必须贮存起来,请按下述步骤进行。 当抽空有害物质时，要采取适当的安全措施。 把油放掉（见第 3.3节）。 灌入干净的油到油位观察窗的下边缘（见第 3.3节），让泵运转几分种。 19 然后把油放出，再灌入干净油至油位观察窗上边缘（见第 3.3节）。 封闭连接口。不需要抗蚀油。 警告 当由于电机或它的温度探测器引发过热而使泵断电时，泵必须冷却到环境温度，并消除过热原因后，才能再次 手动启动。 在电源故障后，为防止泵意外启动，必须将泵与一个控制系统相连接，以便只能通过手动开关才能启动。这同 样适用于应急断路开关。 如果切换与工作条件下已预热的泵有关的工艺过程时，切记泵不能直接再次启动。 2.7 极限泵压力 如果系统不能达到技术数据规定的压力，则将泵从系统上拆下后，在泵吸入口直接测量极限压力。 只有用压缩真空规或分压规才能测量非冷凝气体的极限压力（空气分压）。用校准过的仪表才能得到精确的测 量数据。 泵在长期闲置后或更换油之后的初次启动，要等一段时间才能达到规定的极限压力。因为泵必须达到它的工作 温度，泵油必须除气。我们建议初次启动泵要打开气镇阀。 极限压力取决于泵温度和使用的泵油。使用推荐的油，在低泵温下能获得最好的极限压力。 2.8 安装选用的气镇阀 按客户要求可选带气镇阀的或不带气镇阀的 SOGEVAC 泵。气镇阀也有各种型号（见第 2.5.2选择气镇）。 拆泵缸体罩顶部的紧固螺钉，松开罩底部的泵脚，将罩取下来。 把油放出（见第 3.3节）。 拆螺钉与封垫。 用螺栓和封垫安装选择的气镇阀。 重新装罩和充油。 注： LEYBOLD USA销售的泵，标准气镇阀是标准设备。 3、维修 警告 拆泵之前先切断电源。必须绝对保证泵不能意外启动。 警告 如果泵抽过有害物质，要弄清楚危害性质并采取相应安全措施。 20 遵守所有安全规程。 在 LEYBOLD维修站检修 如果您将泵发往 LEYBOLD 维修站，请说明该泵是否有危害人体健康的物质，或者说明是否被污染。如果泵已被 污染，必需说明危害的性质。为此，您一定要使用我们准备好的表格，它将按要求提供给您。 在使用说明书的最后有这个表格的复印件“真空设备和部件污染说明”。 请把这个表格附在泵上，或把表格与泵包装在一起。为了满足法规和保护我们的工作人员需要这个说明。 如果没有“污染说明”，LEYBOLD维修站将把收到的泵按发货人地址退回。 警告 泵的包装必须保证：在发运中不会损坏泵，从而有害物质不会从包装箱中溢出。 如果您在自已的工厂打开泵，也要注意是否有污染。 重要说明 处理用过的油时，请遵守相关环境规程。 根据设计思想，SOGEVAC泵在正常工作条件下，只需极少的维护。所需维修工作在下节介绍。 所有工作必须由经过培训的人员操作。维护或检修不当会影响泵的寿命和性能，并影响到保修索赔问题。 3.1 日常维护制度 日常维护制度中所述的维护频次是泵正常运行的大致数值。不利环境条件和/或腐蚀性介质条件下要增加维护 次数。 维护项目 次数 参见章节 检查油位 每日 3.2.1 检查油状态 根据工艺情况 3.2.2 第 1次换油 在运行 150小时后 3.3 相继的换油 每运行 1000小时或 3个月 3.3 更换油过滤器 在每次换油时 3.3 更换排气过滤器 如果在出口有油雾或每年 3.4 清洗入口过滤网 每月 3.5 检查防返油阀 每年 3.6 21 检查浮球阀 在每次更换排气过滤器时或每年 3.8 冷却盘管清洗 每年 3.13 我们建议将若干项目结合起来以简化维护工作。 当心 不要安装用过的密封件;一定要使用新的密封件！ 3.2 检查油 3.2.1 油位 运行中的泵油位必须绐终位于油位玻璃窗的中间位置。必要时，停泵，按正确的油量补加油。充油过多在高吸 入口压力时造成油损耗。 高油耗一般表明排气过滤器已堵塞（见第 3.4节）。 向泵内灌油时必须停泵。 每天至少要检查 1次油位。 3.2.2 GS77油状态 一般来说油是清彻透明的。如果油发暗，应更换。 如果油内溶解有气体或液体，极限压力会变坏。在进气口关闭并打开气镇阀使泵运转约 30分钟可以使油除气。 在泵停车后而仍处于工作温度时，通过排油螺塞排放些油到烧杯或类似容器中，可用于检查油的状态。 警告 根据涉及的工艺，危险物质可从泵和油中溢出。要采取对应安全措施。 遵守安全规程。 3.3 换油，更换油过滤器 使用的工具： 油过滤器扳手（710 73 532） 一定要在停泵后仍处于工作时候的温度时换油。 如果油有被与之接触的工艺气体聚合危险时，在泵运行后，应立即换油。 警告 泵在工作中是热的，某些表面可高达 80℃（176℉）以上。 22 若触摸有烫伤危险。 拧掉排油螺塞（9/81），让用过的油排入适当的容器。 警告 根据涉及的工艺，危险物质可从泵或泵油中溢出。要采取相应措施。 遵守安全规程。 重要说明 当处理用过的油时，请遵守相关环境规程！ 放油时当油的流量减少时，将排油螺塞拧上，短暂启动泵（最多 10 秒种），然后把泵停掉。再把排油螺塞拧 下来，排出剩余的油。 拆掉油过滤器（9/69），取一个新油过滤器，用油浸润它的衬垫，并用手把它拧上。 重新装好排油螺塞（检查“O”型圈， 必要时用新的替换它）。 将加油螺塞（9/58）拆掉，注入新油至油位窗下边缘，让泵短时间运转，以便用充入的新油冲洗泵。然后再 把油放掉。 只使用合适的油（见第 1.8节）。 警告 根据涉及的工艺，危险物质可从泵和油中溢出。应采取相应措施。 遵守安全规程。 当心 不要安装用过的密封件；一定要装新密封件。 重要说明 当处理用过的油时，请遵守相关环境规程！ 3.4 更换排气过滤器，检查压力安全阀。 使用的工具： 17mm开口扳手或套筒扳手或专用工具 71072293。 10mm套筒扳手。 当排气过滤元件堵塞时，阀门（9/59）打开，过滤器被旁路。出口有油雾和/或油耗高是排气过滤器堵塞的征 兆。 如果在高运行温度和/或腐蚀介质下油裂解产物增加，排气过滤器的更换必须更频繁。 23 拆下带衬垫（9/63）的封盖（9/64）。拆锁紧螺母并拆两个垫圈之间的弹簧：取出排气过滤元件。 取出压力安全阀（9/59），检查活动是否自如密封是否良好。 按相反顺序重新装入。要确保排气过滤元件良好对中和入位。安装两个垫圈之间的弹簧，和固紧止动螺母。用 10mm套筒扳手使之完全恢复原位。 警告 根据涉及的工艺，危险物质可从泵和油中溢出。采取相应措施。 遵守安全规程。 重要说明 当处理用过的油时，应遵守相关环境规程！ 当心 不得安装用过的密封件；一定要装新密封件。 3.5 清洗入口防尘滤网 需要的工具： 10mm、17mm开口扳手或套筒扳手。 阻挡粗颗粒的污物防护罩位于泵（8/36）的进口法兰。它应保持清洁以避免抽速下降。 污物防护罩是由两个金属丝网筛组成的。拆掉进气管线可看到外筛。如果它只稍微变脏，只需从网的外部把脏 物除去即可。如果网罩很脏，则需拆掉进口阀兰。 取出金属丝网筛，用适当的溶剂清洗它们。 按相反顺序重新装入。 警告 根据涉及的工艺，危险物质可能从泵和油中溢出。采取相应措施。 遵守安全规程。 重要说明 当处理用过的油时，请遵守相关环境规程！ 当心 不得安装用过的密封件；一定要装新密封件。 24 3.6 检查防返油阀 需要的工具： 24mm扳手 为确保泵正常运行，保持防返油阀清洁干净。如果泵吸入的工艺气体中含有大量的粉尘或脏物，我们强烈建议 在泵进口前安装一个粉尘过滤器（见第 1.4节）。 首先拆掉进气管。 拆掉 6个螺钉，去掉进气法兰和衬垫。 拆弹簧和防返油阀。 如果防返油阀太紧，可少许压一下弹簧。防通油线的上边缘距进气口下侧应约为 1-2mm。 重新装好进气口。我们提议更换新衬垫。 防返油阀的平面侧朝下。 弹簧大直径端朝下，小直径端朝上对着防返油阀的平侧。防返油阀有一圈密封线一侧朝上。 警告 根据涉及的工艺，危险物质可能从泵和油中溢出。采取相应措施。 遵守安全规程。 重要说明 当处理用过的油时，请遵守相关环境规程！ 当心 不要安装用过的密封件；一定要装新密封件。 3.6.2, SV630F泵的防返油阀由 24V DC电磁阀门控制。 3.7 清洗气镇进口过滤器 需要的工具： 24开口扳手或套筒扳手。 拆开气镇过滤器的夹链。用适宜的溶剂清洗过滤器。然后烘干它并按相反顺序重新装入。 3.8 检查浮球阀 需要的工具： 22mm、17mm开口扳手或套筒扳手。 在泵运行期间，如果压力不能下降至 5mbar以下，检查浮球阀和回油管的气密性。 25 拆泵罩（10/66）以及平垫（10/65）。 拆掉回油管（11/107）。 拆掉连接件，把浮球阀组件从浮球室抽出。拿掉衬垫。 清洗油咀。检查浮球阀气密性。 检查所有衬垫，必要时换新。 按相反顺序重新装入浮球阀。 警告 根据涉及的工艺，危险物质可能从泵和油中溢出。采取相应措施。 遵守安全规程。 重要说明 当处理使用过的油时，请遵守相关环境规程！ 当心 不要安装用过的密封件；必须安装新密封件。 3.9 更换排气阀 请与 Leybold联络。 警告 根据涉及的工艺，危险物质可从泵和油中溢出。采取相应措施。 遵守安全规程。 重要说明 当处理使用过的油时，请遵守相关环境规程！ 当心 不要安装使用过的密封件；必须安装新密封件。 3.10 更换泵芯组件 可使用如下参考号的全套泵芯装配件： SV630， SV630F：714 08 510 请与 Leybold联络。 警告 根据涉及的工艺，危险物质可从泵和油中溢出。采取相应措施。 遵守安全规程。 重要说明 当处理使用过的油时，请遵守相关环境规程！ 26 当心 不要安装用过的密封件；一定要装新密封件。 3.11 拆、装泵芯件 。 警告 根据涉及的工艺，危险物质可从泵和油中溢出。采取相应措施。 遵守安全规程。 重要说明 当处理用过的油时，遵守相关环境规程！ 注意 如果必须更换轴承板，必须调整销钉位置。请与 LEYBOLD维修方联系（按需要提供说明书） 当心 不得安装用过的密封件；一定要安装新密封件。 3.12 检查电机皮带的松紧 需要的工具： 10-13-24-30 取下罩子。 拧下固定螺母和油冷却器（11/101），将油冷却器取走，取走通风装置。 松开轴和螺母后，取走支架与皮带。 按照相反的顺序安装。 按照下面的方法延伸皮带： 拉伸皮带，皮带间间距 250mm. 手动旋转 1分钟后，直到间距到 252mm 锁紧滑轮轴和它的埋头螺母 锁紧拉伸螺母，运转 24 小时后，必要地话检查是否紧固，以及皮带间距 252mm.如果张力不足，会导致 皮带打滑以及过早磨损。没半年检查和调整是必要的。 警告 一般注释 我们保留修改本说明中所给标记或任何数据的权利。不再附加说明。 不得安装用过的密封件；一定要装新密封件。 3.13 润滑轴承 Sogevac SV500, SV630/F 和 SV750配有几个脂润滑的轴承，在正常操作的情况下，这种持久润滑的轴承 提供 10000小时的面维护时间。 27 随着热负载、以及在高的进气口压强下的长时间连续，气镇打开，建议缩短检查周期。 方法：打开后端盖(8/7)和前盖(8/25),检查轴承的润滑脂。 如果脂已经硬化，请取下端盖，更化润滑脂。 请使用高温润滑脂 （订货号码： 711 17 700） 每个轴承使用的润滑脂的数量： 轴承 部件号码： 714 03 872 （8/23） 20立方厘米 或者 22克 轴承 部件号码： 714 03 882 （8/10） 60立方厘米 或者 65克 4、故障排除指南 故障 可能的原因 处理方法 备注* 泵不能启动 泵连接错误 正确连接泵 2.3 电机保护开关设置不正确 正确设定电机保护开关 2.3 工作电压与电机不匹配 更换电机 电机故障 更换电机 油温低于 12℃（54℉） 把泵和泵油加热或用不同牌号的油 1.8 油粘度太大 使用合适牌号的油 3.3 排气过滤器/排气管路堵塞 更换过滤器或清洗排气管路 3.4 泵被卡死（现象：泵卡住） 检修泵 3.11/3.12 泵不能达到 测量方法或使用的规管不当 使用正确的测量方法和规管 2.7 极限压力 外部泄漏-1）- 管道接头松了 检修泵 – 重新紧固管接头 浮球阀没关紧 检修阀门 3.9 防返油阀失灵 检修阀门 3.6 排气阀失灵 检修阀门 3.10 由于下述原因造成润滑不良 3.3 -使用的油不对或油已污染 更换油 3.3 -油过滤器堵塞 更换油过滤器 -油管路堵塞 清洗油管路和油箱 真空管路太脏 清洗真空管路 泵太小 如果必要的话，根据工艺更换泵 抽速太低 进口滤网堵塞 清洗滤网 3.5 措施：在进气管路安装一个 1.4/2.2.1 粉尘过滤器。 排气过滤器堵塞 安装新过滤器元件 3.4 连接的管路管径太小或太长 使用大直径和短的连接管路 2.2 防返油阀难以打开 检查弹簧自由度 泵在真空下 系统有漏 检查系统 停车后， 防返油阀失灵 检修阀门 3.6 系统内压力 回 升很快 泵太热 风冷系统流通不畅 正确安放泵 2.1 28 冷却器太脏 清洗冷却器 3.8 环境和温度太高 正确安放泵 2.1 工艺气体太热 改变工艺 油位太低 加油到正常油位 3.3 使用的油不对 更换油 3.3 油循环堵塞 清洗或检修油管路 排气过滤器/排气管路堵塞 更换排气过滤器，清洗排气管路 3.4 排气阀失灵 检修阀门 3.10 泵芯寿命已到 更换泵芯 3.11 油进入 油来自真空系统 检查真空系统 进气管路 防返油阀堵塞 清洗或检修防返油阀 3.6 或进入 防返油阀的密封面损坏或太脏 清洗或检修进口和防返油阀 3.6 真 空容器 油位太高 放掉过量的油 3.3 泵油消耗 排气过滤器堵塞或损坏 更换过滤器 3.4 太多，在 浮球阀的油咀堵塞 检查阀门，清洗油咀 3.9 出 口有油雾 油位太高 放掉多余的油 3.3 油混浊 冷凝 油除气或换油，清洗泵 2.5.2/3.2.2 方法：打开气镇阀或在进气管路上装一个冷凝器 清洗气镇进气过滤器 3.7 泵噪声过大 油位很低（看不见油） 加油 3.3 油过滤器堵塞 更换油和过滤器 3.3 联轴器垫磨损 安装新联轴器垫 3.11 系统有大的真空泄漏 检修直空泄漏 3.11/3.12 ＊参考章节：这一栏是使用说明书中包含应用检修信息的章节。 １）气泡试验：在无气镇，关闭进口的情况下让泵在工作时候的温度下运转去除油中气体。把排气管
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