典型应用:质谱仪,电子显微镜,照明,镀膜,loadlock,无油高真空前级泵等。
目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展迅速,对洁净真空的要求慢慢的升高。为满足客户对无油洁净真空的需求,欧瑞康莱宝推出了SC系列涡旋式真空泵。
为了满足某些行业中对大抽速罗茨泵的需要,欧瑞康莱宝还有另一个系列的大型罗茨泵(RA系列),其抽速为3900~13000米3/小时。
欧瑞康莱宝的RUVAC罗茨泵与专用的变频器配合使用,可使泵的抽速增加(最大)100%,从而弥补了各规格之间的抽速空挡。
Ecodry系列为欧瑞康莱宝最新推向市场的一种干式泵。它可以满足除半导体行仪以外的所有干式真空的需要。由于它相对于其他干式泵来说,结构简单,价合理,因此刚一面市、即受到广大格用户的欢迎。
RUTA罗茨泵组的抽速由250到32000米3/小时,可以分为两极泵组和多级泵组,极限线mbar,乃至更高。除标准产品外,根据不同工艺的需要,还可以为客户专门设计定制应用于某些特殊用途的泵组,并在系统中加装各种附件,如冷凝器、粉尘过滤器、真空计、真空阀、压力控制元件,温度控制元件等。另外,还可以耕具工艺过程,设计可实现全程自动控制的电控柜。
欧瑞康莱宝生产的滑阀泵包括单级滑阀泵E250和双级滑阀泵DK200。它们的主要技术参数为:
WAU/WSU系列可以在大气下启动,既可简化系统的控制程序,又提高了从大气压到10mbar范围内机组的抽速。
TRIVAC C是双级油封式旋片真空泵,TRIVAC C的高效,可靠,低噪音,易维护的设计特别适用于科研、化工、分析仪器以及制冷业和电光源产品的生产使用,也可做为大型真空系统的前级泵使用。
2、出口油雾过滤器为标准配置,真空泵油循环使用,无油烟,清洁、环保、省油。
欧瑞康莱宝公司在2002年底正式推出的SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵,它是一种全新的设计,是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题,如粉尘、焦油等。
3、所有与介质接触的部件均由PTFE(聚四氟乙烯)和PVDF(聚偏氟乙烯)制成,因而具有极好的耐腐蚀性和耐溶剂性。可以用来抽除任何化学介质。
3、泵腔内没有任何的内部阀门,排除了因内部阀门而产生的故障的可能性,因此耐粉尘和焦油能力强。
4、泵腔外壳可方便地拆卸,便于清洗螺杆(当必要时),并可在客户现场由用户自己完成。
由于真空腔内没有油润滑,因此粉尘不会存留在泵腔内,而是随着气体从排气口排出泵外。
在250~2050米3/小时的抽速范围内,欧瑞康莱宝的罗茨泵的电机有直联式(WA/WAU)和封闭式(WS/WSU)两种规格,每种规格又分为带逸流阀、可在大气下启动的WAU/WSU和不带逸流阀的WA/WS的两种形式。
1、内置油泵,对泵腔进行强制润滑。因此可以在入口压强为大气压的情况下连续工作。
WS/WSU系列为CANNED电机,与无油前级泵组合,可组成无油真空机组。
随着真空技术和真空应用的发展,新的真空问题不断涌。在这种情况下只是为客户提供真空元部件已越来越不能实现用户的要求。
莱宝公司作为一个专业的真空设备供应商,始终把为广大新老客户提供真空解决方案视为己任。在提供具有最优秀品质的真空元部件的同时,还为客户度身定做,提供既能满足真空要求,又最经济的最佳解决方案--真空泵组。