莱宝真空COOLVACClassicLine带有自动控制和再生的功能低温泵CryopumpSystemAutomaticControlRegeneration操作说明GA12145_002_A1部件编号.844160V000x844200V000x844250V000x844320V000x0V000x仅供参考，如有疑义以英文版说明书为准。页码重要的安全说明说明121.1设计和功能121.2标准规格181.3技术数据191.4订货信息24运输及存放27泵系统的安装283.1适用性283.2COOLVAC的安装283.3阀门的连接303.4前级泵的连接323.5测量仪表的连接343.6电气连接34压缩机的安装38双重控制装置的安装39多重控制装置的安装43压缩机和低温泵的连接及试运行7.1安装氦管497.2压缩机的准备547.3检查表55OerlikonLeyboldVacuum操作57安全须知578.1介质的相容性588.2接口588.3接通658.4主菜单和一般规则678.5COOLVAC操作菜单698.5.1停机728.6拆卸738.7COOLVACMONITOR（COOLVAC监视）菜单748.8SERVICEMODE(服务模式)菜单（设置的变更)768.9温度菜单818.10COOLVAC诊断菜单828.11服务监视菜单83维护859.1欧瑞康莱宝线更换COOLVACPM（控制模块）8610排除一些故障8811易损件和原备件9412废物的处理9813外部24接口(可选件)9913.1说明9913.2安全10013.3连接10013.4操作102EC生产厂商声明104符合EC指令的声明105证明106图表清单110索引111GA12145_002_A1OerlikonLeyboldVacuum安全说明重要安全说明警告此标志表示为避免人员伤害而必需要严格遵守的规程。注意此标志表示为避免损害或毁坏产品而必需要严格遵守的规程。欧瑞康莱宝真空设备公司的COOLVAC系列新产品是针对安全、有效地操作而设计，请正确使用并遵守本操作说明。用户有责任仔细阅读并严格遵守本节及整个操作说明中所有的安全防范条款。COOLVAC泵只能且必需在本操作说明中描述的、适当的条件下工作。此设备只能由经过培训的人员做相关操作以及维护。请与当地或本国的代理公司咨询具体实际的要求与规定。如有任何有关安全、操作和/或维护方面的问题可向与您最近的，我们的办事机构反应。如果违反下列安全防范条款，会导致严重的人员伤害！机械危险警告小心人员伤害！避免人体的任何部分暴露在真空下。只有在泵放气（破空）后才能处理泵。小心爆炸！标准型产品不适用于在有爆炸危险的区域中使用。高氦气压危险冷头、压缩机和氦管中都装有氦气：静止时压力达到16bar(232psig;1.6MPa)，而运行时压力可达到29bar(420psig;2.9MPa)。设备内部的各个部件均处在压力之下，氦管是相同。这些部件既不可以进行机械运转，也不可以进行热运转。压缩机中的所有阀门或开关一定不可以被阻塞或改装。所有部件只能由经过相应培训的修东西的人打开。在打开系统前，应先释放压力。电气危险小心人员伤害！在进行所有的连接工作时，要百分之百确保主供电路线已经完全断开。按规定，电路连接只能由经过培训的电工进行，需遵守EN50110-1中的规定。为避免电击，要将设备做低阻抗接地。OerlikonLeyboldVacuum安全说明热危险性小心人员伤害!以下部件在运转时温度会非常高(70C,158F)，有造成人员烫伤的危险。低压氦气连接器为发热部件加装防护壳，防止接触。注意泵上有表示各种危险的符号，如果泵体发热，需按要求穿防护工作服。为避免因接触泵内部低温的表面（温度不高于120K）而造成了严重的伤害，待泵内温度升至室温时，再将低温泵从支架上取下。由原料和物质产生的危害COOLVAC的标准型号不适合于下列工艺高于大气浓度的氧气产生低温泵是一种气体捕集真空泵，也就是说真空室里抽出的气体分子储存在低再生时，或在电源故障之后泵的温度上升时，释放的气体总量可以在很短的时期内变得很大，以至于压力真空系统或泵壳内产生的压力超过大气压。鉴于此，欧瑞康莱宝真空低温泵特别安装了一个泄压阀（安全阀），当内部压力高于大气压时就会自行打开。依照泵的型号不相同，这个安全阀会在1150和1600mbar之间打开。永远别阻塞安全阀由于危险气体可能会从安全阀中排出，因此，必需将它连接到适当的排气管线上。安全阀的排气管线必需没有压力，而且最小内径必需达到17mm(11/16“)。再生期间，危险气体可能会从前级泵中排出，因此，前级泵的排气口必需连接到相应的排气管线。即使是惰性气体，如果数量大，且取代我们呼吸空气中的氧的话，也会造成危险。用于抽取危险气体的低温泵只能由熟悉危险物质处理，熟悉必需的安全措施的人员做相关操作。警告GA12145_002_A1OerlikonLeyboldVacuum安全说明对某些工艺气体，在泵抽送阶段不会造成任意的毛病，但是，当低温泵温度上升（再生或断电）的条件下，大量释放的时候，就会带来危险。此外在某些情况下，比如H与空气形成的混合气体可能具有可燃性从而发生爆炸。CO与空气，CO与O形成的混合气体也显示出类似性质。在电气部件中有可能存在着火源如安装在真空室和/或泵壳里的电离真空计、受热的、不封闭的压力测量装置和再生加热器故障等。所以对于易燃、易爆、有毒或腐蚀性气体和气体混合物，一定要在低温泵升温时遵守专门的安全措如果违反下列预防条款，可能造成泵的损坏！注意低温泵只能由欧瑞康莱宝真空设备公司授权的人员打开或改装。更换零件时，只可以使用欧瑞康莱宝提供的吸附器。机械损坏前级真空阀的安装的地方一定不可以改变。阀板必需始终朝向泵。不要用管道或其它部件升高或移动压缩机。污染不要把高压和低压接头混在一起。两者互换会造成冷头内部的损坏。不要在高压一侧使用低压氦管（或者在低压端使用过的氦管）。不要把高压接头直接连接到低压接头上（短路）。高低压直接连接时进行运转会损坏压缩机。不要在氦管和冷头没有连接时运行压缩机，哪怕是几秒钟。否则会损坏压缩在充氦气时，只可以使用纯度最高的氦气(99.999%或更高)。OerlikonLeyboldVacuum安全说明冷却水如果不遵照冷却水数据的规定可能会造成内部腐蚀。这会破坏整个压缩如果冷却水流量在入口处被节流或压差降至限制值以下的话，会造成油路循环冷却不足、压缩机故障或损坏。电气损坏保护类型是IP20。不要将设备暴露在飞溅或下滴的水中。 如果线电压与铭牌上标注的值不同的话，必需重新连接电源组件上的终端。 把所有三相的导线连接至压缩机，在端子板上获得正确的电压值。使用错误 的接线端子会损坏电源和冷头。 只应当使用规定数值电压的保险丝。 我们保留改变本操作说明中的设计或任何数据的权利。图解不具有约束力。 操作说明的使用 这些使用说明的编写是有结构的，所以为了自身的安全你必需阅读以下几个 部分： 操作部分一直到COOLVAC的操作部分的结尾（57到72页） 维护的开始部分，这有助于预先很好地计划维护工作。其它所有章节也很重要。 的安装部分结构清楚，所以你可根据描述的顺序最大限度方便地工作。大多数的部件还能够使用不同的顺序。 注意 GA12145_002_A1 OerlikonLeybold Vacuum 系统概要系统概要 设备 COOLVAC CL(CLASSIC LINE): 冷冻机低温泵 COOLVACPM (系统模块)连接在COOLVAC上。 系统模块是连接泵控制器的接口，控制加热器。 COOLVAC SC (系统控制器)，控制装置。当前每个低 温泵的工艺存储在系统控制器的存储器里。所有其它 工艺可以经系统控制器从泵模块中调用。 电源：(2种类型：2台泵用双控制；3台泵用多重控制) 电源向泵模块、系统控制器和各加热器供电，并且控 制一个或多个压缩机。多重控制器还能向低温泵的冷 头电机供电。 COOLPAK 压缩机：它向低温泵提供生成低温的高压 氦气。 为了做相关操作，还需要前级泵用来将低温泵抽空至启动 压力，将真空罐抽空至切入压力。再生期间也有这样的 要求。 操作说明 这些装置仅在此操作说明中进行了描述(GA12145)。安装 控制管理系统的章节出现了两次：一次有关双重控制器，一次 有关多重控制器。另外，两个系统之间的不同会被指出来。 电源没有专门的操作说明。在操作说明一章中进行了描述 (GA12145) 有关另一个泵系统(COOL- VAC SEMILINE)的操作说明中 可能包括了多重控制器电源的内容。两个说明(SEMI- LINE 和CLASSIC LINE)中，关于电源的描述是一样的。 因此，你可以将这些操作说明(GA12145)用于指导电源的 安装和操作。 不同的压缩机有各自的操作说明，必要时参考这些操作 说明(GA12145)。 关于他们在泵系统中的具体使用将在GA12145中说明。 注意：按压缩机的使用一章的说明，有些压缩机可能无 法在泵系统中运行。
