转子以偏疼方法安装在泵腔(定子)中,转子内有三个槽,叶片可在其间滑动。叶片将内部空间分为三个腔室。这些腔室的容积随转子的旋转而改变。吸入进气室中的气体被紧缩,然后经过排气阀排出。喷射到进气室中的油可保证泵的气密性以及光滑和冷却作用。在进入油箱时,油被紧缩气体带走,然后遭到重力的大略别离。之后,油在排气过滤器中进行精密别离,油丢失低于 1 ppm,这是一个业界基准。
SOGEVAC BI 泵在进气法兰处装备防返油阀,可防止油在泵中止时返回到进气管路,此外还装备用于抽取可凝蒸气的气镇,并随附必要的光滑油。